从图1所示的ZrO2-SiO2状态图可以看出，当温度高于1175℃时，ZrSiO4可以分解为ZrO2和熔融的SiO2，热源为高温等离子体。反应产物可以用NaOH处理以获得二氧化锆。工艺流程见图2，主要工艺条件见表1。
表1等离子体分解锆英砂的主要工艺条件
图1氧化锆和二氧化硅的平衡相图
图2高温等离子体法分解锆英砂的原理过程
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