碳酸化和直接氯化分解锆英砂一样，可用于制备四氯化锆、锆和铪，但也可用于生产二氧化锆和其他锆化学品。该方法的工艺流程如图1所示。碳化在温度高于2000℃的高温电弧炉中进行。碳氮化锆在400℃可以氯化成四氯化锆。主要反应是:
ZrSiO4+4C=ZrC+SiO(g)↑+3CO
ZrSiO4+4N2=ZrN+SiO(g)↑+3NO
ZrC+2Cl2=ZrCl4(g)+C
ZrN+2Cl2=ZrCl4(g)+1/2N2
图1碳酸化和氯化分解锆英砂工艺流程
碱式氯化锆可通过将四氯化锆溶于水并结晶，然后进行后处理得到。
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