当照射原子核的X射线的能量与原子核内电子的能量处于同一数量级时，原子核内电子发生共振，吸收射线的辐射能量，然后发生跃迁，在内电子轨道上留下空空穴。高能态的外层电子跳回低能态的空空穴，以X射线的形式释放多余的能量，产生的X射线就是代表各元素特征的X射线荧光线。其能量等于原子内壳层电子的能级差，即原子特定电子层之间的跃迁能量。只要测量一系列X射线荧光线的波长，就可以确定元素的类型。这种元素的含量可以通过测量谱线强度并将其与标准样品进行比较来确定。因此，建立了X射线荧光光谱(XFS)分析方法。
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