光致抗蚀剂颗粒计数器是一种随着清洁度测量和污染监控而发展起来的测量方法。按测量对象可分为两种:一种是俗称的颗粒计数器，也称粉尘计数器，测量气体中颗粒的大小和数量；另一种是用光阻法测量液体中颗粒的大小和数量，称为液体颗粒计数器。

光刻胶液体粒子计数器主要由取样系统、敏感区和计数系统组成。当粒子进入敏感区时，光路被阻挡，光电接收器接收到光电强度变化，转换成电压脉冲信号。不同大小的颗粒数量由不同的电压阀(或脉冲高度分析器通道)记录。

根据仪器的测量目的，可分为测量油相和水相介质中的固体颗粒；根据仪器的测量方法，可分为固定尺寸档、可设定尺寸档和不设定尺寸档三种。