x射线微量分析仪，简称电子探针。它激发内径为0的特征X射线。通过聚焦电子束在样品表面产生n-n微米的微区，然后根据X射线谱的分析可以测定微区样品中元素的定性和定量组成。可测量的范围是从铍(Be4)到铀(U92)。该仪器的相对灵敏度较差，一般为0.01-0.05%。但由于微区含量，如果计算绝对灵敏度，只能检测10-3-10-14克元素，所以灵敏度相当高。最常用的物理信息有:特征X射线、二次电子、背散射电子、吸收电子等。通过观察和测量这些信息，可以获得矿物微区的成分、含量、分布、赋存状态、晶体形态、粒度、矿物形貌和结构。目前常用的方法有光谱分析和能谱分析，现代新型电子探针都有这两种方法。光谱分析具有良好的光谱分辨率、峰背比和高分辨率。但不足之处是X射线利用率低，分析速度慢，需要半个小时左右才能对元素进行全面分析。能谱分析灵敏度高，可以同时检测多种元素，分析速度快。一般可在2-3分钟内得到原子序数表中钠以上元素的定性和定点定量分析结果，所有有用数据均可存储或记录。其缺点是分辨率远低于光谱方法，一般需要使用光谱分析进行准确的定量分析和超轻元素分析。上述任何一种方法都可以在最终的显像管上显示出来，或者用X-Y记录器和电传打字机记录下来。
电子探针像的观察:在观察背散射电子像和吸收电子像时，元素根据原子序数形成对比。在背散射电子图像中，原子序数小的元素较暗，而原子序数大的元素较亮。利用这一特征，可以大致判断样品中不同元素或矿物的分布状态。而吸收电子像的暗区或亮区与背散射电子像完全相反。
特征X射线图像可以清楚地显示一个元素在微区的分布，通常用以下三种方法测量:
首先，点分析
通过将电子束固定在待分析的点上，然后改变晶体与探测器的相对位置，可以对点中的元素进行定性和定量分析。
二、线路分析
X射线谱仪固定在待测元素的位置上，电子束以线扫描的方式沿指定方向移动，使某一元素在指定直线上的分布状态记录在屏幕上或记录仪上，称为浓度分布曲线。
第三，表面扫描
将X射线光谱仪固定在待测元素的微小区域，使电子束在样品表面扫描，可以得到元素的表面分布。白点密集的区域是该元素含量最高的区域，通过改变光谱仪的位置可以得到不同元素的表面分布。
电子探针的样品递送要求通常是良好的导电性。如果探头是非导体，就要喷涂在表面。一般抛光盘的直径为10-20mm，应根据电法勘探样品架的规格来确定。样品的表面应抛光平整。样品要去掉盖玻片，用酒精洗胶，然后喷碳膜(或金膜)。重砂或矿物加工品应在长10mm、直径约8-10mm的铜管(或铝管)中镶嵌酚醛模塑料或其导电胶，各种抛光膜的样品应在镜下用钻石笔标记，以免浪费时间寻找测试位置。样品必须具有代表性，送样时应附上取样情况、矿物共生组合及遗传产出需要解决的问题，以便选择合适的资料和手段。
