一般高纯度惰性气体通常含有0。！%的活性气体杂质，其纯度相当于133Pa的真空。这种气体用于金属的加热保护，仍然会与金属表面发生反应，所以需要进一步净化。从纯化和保持纯度的成本来看，杂质应该达到1 &倍；10-6以下很难，而1 & times10-6残余气体仅相当于1.33×10-6。10-1Pa真空度。这个真空度是机械泵+罗茨泵长期可以达到的。但是成本比同等程度的气体净化要便宜很多。

(1)切削液、润滑液、防锈液等。在脱脂后的工件表面，在real 空条件下加热，分解成氢气、二氧化碳和水蒸气，由real 空泵(前级过滤系统)抽出。如果工件表面的污渍不严重或者要求不高，那么在真正空加热之前，没有必要清洗。

(2)除气真空空对液态金属有明显的除气作用，对固态金属中的溶解气体也有很好的去除作用。不同金属和不同温度点的脱气速率不同。金属中危害最大的是氢(氢脆)，用true 空加热能迅速将金属和合金中的氢降到最低。

(三)氧化物的分解金属和合金在真空中加热时，如果真空度低于相应氧化物的分解压力，氧化物会分解形成游离氧，被真空系统带走。提高了金属的表面质量。甚至在一定温度下达到活化状态。

(四)挥发性合金元素合金材料在[/k0/]中加热时，表面的化学成分和状态往往会发生变化。比如钢中的各种合金元素中，锰和铬的蒸汽压最高，在[/k0/]中加热时最容易蒸发。例如，镍铬合金制成的发热元件在[/k0/]的高温下使用后不久就会发现表面粗糙。由于钢材表面的合金元素蒸发，表面的物理化学性质发生变化，影响成品的质量和耐久性。为解决这一问题，一般采用800℃以下的真空空加热和800℃以上的惰性气体通入来减少合金元素的挥发。