高频率超声衰减谱法(简称超声谱法)是近年来新出现的纳米颗粒粒度测量方法。因超声具有强穿透力，该方法尤其适用于高浓度纳米颗粒的测量。它的基本原理是：不同频率的超声在纳米颗粒悬浮液中传播时，受到纳米颗粒的吸收和散射会产生衰减。不同大小的纳米颗粒对不同频率超声的衰减作用是不同的，图中给出了不同大小纳米颗粒随频率的理论衰减特性。根据纳米颗粒的这种超声衰减谱特性，在测得纳米颗粒的超声衰减谱后，用简化的ECAH(Epstein−Carharts−Allegra−Hawley)模型或McClements(David J McClements)& BLBL(Bouguer-Lambert-Beer-Law)模型对信号进行处理，可以得到纳米颗粒的粒度分布。目前该方法在超声中心频率50MHz时可以测量的最小粒度是5nm，质量浓度可以达到40%。

纳米颗粒的超声衰减谱测量对混入待测样品中的少量粒径较大的杂质颗粒不敏感，但对样品池中的气泡非常敏感，这就要求测量时必须消除待测样品中的气泡。